石墨舟皿去垢前的检查工作有哪些
发布作者:jcadmin 发布时间:2024年01月22日
石墨舟皿去垢前的查看作业:
石墨舟在使用过程中接近100次时需求操作人员及时查看镀膜情况,呈现镀膜异常,需求进行清洗供认。
硅片在石墨舟内正常镀膜色彩为蓝色,片内呈现非蓝色、多种色彩或片与片间色彩差异较大,都为镀膜异常,需求工艺供认异常原因。
由工艺人员对舟的镀膜情况进行剖析后,供认石墨舟是否需求清洗以及卡点是否需求替换,出产将需清洗的舟交由设备人员清洗。
石墨舟供认需求清洗后,由设备、出产、工艺三方对石墨舟进行查看。
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